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Co、Sn共掺ZnO薄膜结构及其性能研究
作 者: 吴艳南
导 师: 徐明
学 校: 四川师范大学
专 业: 凝聚态物理
关键词: ZnO 薄膜 溶胶-凝胶 掺杂 光致发光
分类号: O484.1
类 型: 硕士论文
年 份: 2011年
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内容摘要
ZnO是一种直接宽带隙半导体材料,具有六角纤锌矿型晶体结构,在室温下的禁带宽度为3.37eV,激子束缚能约60meV。ZnO具有很好的导热、导电、化学稳定性及良好的紫外吸收性能,广泛应用于表面声波器、UV探测器、传感器、红外反射器和太阳能电池等领域。另外它还具有优越的光电性能,是制造蓝光及紫外光电器件最有应用前景的材料之一。随着光电子技术的迅速发展,对紫光和蓝光等短波长发光材料的需求越来越迫切。由于室温下ZnO的禁带宽度为3.37eV,再加之其较高的激子束缚能,故ZnO理论上不仅具备实现蓝光和紫外光发射的本领,甚至在高于室温的环境中仍具有显著的低阀值激发机制,因此对ZnO发光特性及其发光机制的进一步研究就显得尤为重要。本文采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备了Co,Sn掺杂ZnO系列薄膜。通过金相显微镜和X射线衍射(XRD)研究了Co与Sn掺杂对薄膜的表面形貌和微结构的影响。XRD结果表明,所有ZnO薄膜样品都存在(002)择优取向,特别Sn单掺ZnO薄膜的c轴择优取向最为显著,而且晶粒尺寸最大。XPS测试表明样品中Co和Sn的价态分别为2+和4+,证实Co2+,Sn4+进入了ZnO的晶格。振动样品磁强计(VSM)测量表明Zn1-xCoxO薄膜具有室温铁磁性。室温光致发光谱(PL)显示在所有的样品中都有较强的蓝光双峰发射和较弱的绿光发射,而在纯ZnO及Co掺杂ZnO薄膜样品中还观察到了较强的紫外发光峰。此外,通过Co,Sn掺杂的控制能够调整薄膜的禁带宽度,进而使得蓝光发光峰发生了位移;同时,掺杂还将影响薄膜中氧位错、锌空位和锌填隙缺陷,因此控制掺杂浓度可以调控薄膜的发光特性。最后,我们还探讨了不同波段光发射的可能机理。
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全文目录
摘要 2-4 Abstract 4-8 第一章 绪论 8-19 1.1 ZnO 的结构及基本性质 8-12 1.1.1 晶体结构和晶格常数 8-10 1.1.2 电子能带结构 10 1.1.3 力学性质和热性质 10-11 1.1.4 光学性质和电性质 11-12 1.2 ZnO 薄膜的掺杂及生长 12-15 1.2.1 n 型掺杂 12-13 1.2.2 p 型掺杂 13 1.2.3 ZnO 薄膜的生长技术 13-15 1.3 稀磁半导体理论 15-17 1.3.1 稀磁半导体的研究进展 15-16 1.3.2 稀磁半导体材料的磁输运特性 16 1.3.3 实验中尚待解决的困难 16 1.3.4 ZnO 基稀磁半导体材料 16-17 1.4 本课题的研究内容、意义和创新点 17-19 1.4.1 研究内容 17 1.4.2 研究意义 17-18 1.4.3 主要创新点 18-19 第二章 溶胶-凝胶法制备ZnO 薄膜的机理及表征手段 19-27 2.1 溶胶-凝胶原理与技术 19-24 2.1.1 溶胶-凝胶法的发展历程 19-20 2.1.2 溶胶-凝胶法的基本原理及化学过程 20-21 2.1.3 溶胶-凝胶法的优缺点 21-23 2.1.4 溶胶-凝胶法的重要应用 23-24 2.1.5 溶胶-凝胶法制膜工艺 24 2.2 样品的表征手段 24-27 2.2.1 电子显微分析 25 2.2.2 x 射线电子衍射 25 2.2.3 x 射线光电子能谱 25 2.2.4 光致发光谱 25-26 2.2.5 磁性测量系统 26-27 第三章 Co 掺杂 ZnO 薄膜的结构及光磁性能研究 27-38 3.1 引言 27-28 3.2 实验 28-29 3.2.1 实验试剂及设备 28-29 3.2.2 实验方案 29 3.2.3 样品的制备 29 3.2.4 样品的测试 29 3.3 结果及讨论 29-36 3.3.1 Zn_(1-x)Co_xO 薄膜的形貌分析 29-30 3.3.2 Zn_(1-x)Co_xO 薄膜的结构分析 30-33 3.3.3 Zn_(1-x)Co_xO 薄膜的 XPS 分析 33-34 3.3.4 样品 Zn_(0.95)Co_(0.05)O 的磁性分析 34-35 3.3.5 Zn_(1-x)Co_xO 薄膜的发光特性分析 35-36 3.4 本章小结 36-38 第四章 Co、Sn 共掺 ZnO 薄膜结构与光致发光的研究 38-49 4.1 引言 38 4.2 实验 38-40 4.2.1 实验试剂及设备 38-39 4.2.2 实验方案 39 4.2.3 样品的制备 39-40 4.2.4 样品的测试 40 4.3 结果与讨论 40-47 4.3.1 Zn_(1-x-y)Co_xSn_yO 薄膜的形貌分析 40-41 4.3.2 Zn_(1-x-y)Co_xSn_yO 薄膜的结构分析 41-43 4.3.3 Zn_(0.95)Co_(0.03)Sn_(0.02)O 薄膜的 XPS 分析 43-44 4.3.4 Zn_(1-x-y)Co_xSn_yO 薄膜的发光特性分析 44-47 4.4 本章小结 47-49 第五章 结束语 49-51 参考文献 51-57 致谢 57-58 在校期间的科研成果 58
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中图分类: > 数理科学和化学 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学 > 薄膜的生长、结构和外延
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