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ZnO材料的形态控制生长及机理研究
作 者: 周龙强
导 师: 戴英
学 校: 武汉理工大学
专 业: 光电子及信息材料
关键词: ZnO 形态控制 水热法 气固法 生长机理
分类号: TN304
类 型: 硕士论文
年 份: 2006年
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内容摘要
氧化锌(ZnO)是一种具有纤锌矿结构的自激活直接带隙半导体材料,具有独特的电、光、磁、机械、化学性质,在微电子器件和光电器件等领域具有巨大的应用潜力。ZnO材料的性能不仅取决于其组成、结构和尺度,还取决于其维度和形态,因此在材料的生长过程中对其结构、组分、形状、尺度和位置进行控制生长,能实现对其性能进行设计不是、选择组装,对开发其各种功能有重要的应用价值。本文对ZnO材料的形态控制生长及机理进行了系统研究。 分别采用水热合成法和高温气固法,通过调控工艺条件,实现了ZnO形态的控制生长,水热法中控制反应物浓度、温度、升温速率、反应时间等工艺参数,制备出六方棒、尖头棒和阵列、六方管、片状棒阵列和片状管阵列等形态。气固法中控制原料种类、温度、气体压力、基板等工艺参数,制备出树枝状、网格状、阵列、梳状等形态。用X射线衍射、扫描电镜、投射电镜对各种形态的成分、形貌和结构进行表征。 六方棒和管具有笔直规则的构形和平整光滑的表面,片状棒和片状管阵列垂直生长在基板上,相互交错生长的ZnO纳米片排列在棒或管的侧面。对水溶液体系的化学反应过程进行了分析,溶液反应温度在沸点以下时,ZnO趋于形成理论结晶形态,生长成六方棒;在沸点以上体系趋于达到热力学稳定态,ZnO棒的极性面被溶解刻蚀形成管状。反应物的浓度决定ZnO结晶形态的尺度大小。快速升温时,反应初期在基板上生长的ZnO薄膜对于ZnO棒垂直于基板生长有重要的影响,ZnO纳米片围绕棒的侧面二次成核生长形成片状棒阵列,极性面被刻蚀溶解形成片状管。 树枝状是六方柱形主干的六个侧面以一定角度生长一排分支。网格状是ZnO带在空间相交成60°角交错生长成整齐的网格,梳状是ZnO长带状的一侧边整齐垂直地生长一排分支。气固反应体系中,晶体生长机制是VS机理。形态控制生长的关键是控制Zn(g)和O2(g)分压。升高反应温度生成Zn(g)的分压增大,树枝状和网格状形态是较高Zn(g)分压下形成,梳状形态是较低的Zn(g)分压下形成,改变原料用量比例,Zn(g)和O2(g)的分压大小变化,直接影响晶体的结晶的形态,如梳状形态的分支有棒状、针状、齿状。
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全文目录
摘要 3-5 Abstract 5-9 第1章 引言 9-21 1.1 一维纳米材料的研究进展 10-12 1.1.1 一维纳米材料 10 1.1.2 有序组装结构 10-12 1.2 一维纳米材料的控制生长 12-14 1.2.1 激光烧蚀法 12-13 1.2.2 蒸发冷凝法 13 1.2.3 化学气相沉积法 13 1.2.4 气相外延法 13 1.2.5 溶液反应法 13-14 1.2.6 模板法 14 1.3 ZnO材料 14-20 1.3.1 概述 14-15 1.3.2 一维 ZnO结构 15-18 1.3.3 ZnO异质结 18 1.3.4 掺杂 ZnO结构 18-19 1.3.5 ZnO特殊形态 19 1.3.6 ZnO仿生形态 19-20 1.4 本论文的研究内容 20-21 第2章 晶体形态控制生长的研究 21-31 2.1 ZnO晶体的生长习性 21-23 2.1.1 ZnO的结构 21-22 2.1.2 ZnO晶体的生长形态 22-23 2.2 液相中晶体的形态控制生长 23-27 2.2.1 水热合成法 24-25 2.2.2 晶体的生长机理 25-26 2.2.3 晶体生长的影响条件 26-27 2.3 气相中晶体的形态控制生长 27-31 2.3.1 晶体的生长机理 27-28 2.3.2 气相过饱和度对晶体形态的影响 28-29 2.3.3 晶体生长的影响条件 29-31 第3章 ZnO形态的水热法控制生长与机理研究 31-47 3.1 实验过程 31-33 3.1.1 ZnO形态控制生长过程 31-32 3.1.2 结构表征 32-33 3.2 ZnO形态的显微结构 33-40 3.2.1 ZnO棒 33-37 3.2.2 ZnO六方管 37 3.2.3 ZnO片状阵列 37-40 3.3 液相中ZnO形态的生长机理 40-47 3.3.1 液相中ZnO晶体的生长模式 40-41 3.3.2 反应条件对 ZnO形态生长的影响 41-44 3.3.3 各种 ZnO形态的生长过程 44-47 第4章 ZnO形态的气固法控制生长与机理研究 47-60 4.1 实验过程 47-48 4.1.1 ZnO形态控制生长过程 47-48 4.1.2 结构表征 48 4.2 ZnO形态的显微结构 48-54 4.2.1 树枝状 ZnO 48-51 4.2.2 网格状 ZnO 51-52 4.2.3 ZnO阵列 52 4.2.4 梳状 ZnO 52-54 4.3 气相中 ZnO形态的生长机理 54-60 4.3.1 气相中 ZnO晶体的生长模式 54-56 4.3.2 反应条件对 ZnO形态生长的影响 56-57 4.3.3 各种 ZnO形态的生长过程 57-60 第5章 结论 60-62 参考文献 62-67 致谢 67-68 硕士期间己发表的论文 68
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中图分类: > 工业技术 > 无线电电子学、电信技术 > 半导体技术 > 一般性问题 > 材料
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