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基于线阵CCD的非接触微位移测量系统研究

作　者: 邬明慧
导　师: 安志勇
学　校: 长春理工大学
专　业: 仪器科学与技术
关键词: 光电检测 激光三角法 双远心光路 CCD
分类号: TH822
类　型: 硕士论文
年　份: 2011年
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内容摘要


随着半导体光电器件CCD的快速发展,CCD技术被广泛地应用在测量领域,尤其是在微小位移方面的测量。微位移测量已经广泛地应用在工业领域,提高此类测量的精度可以提高生产效率、减少生产的次品率、降低生产成本。因此,微位移的研究具有重要意义。本文研究了基于线阵CCD和激光三角法的微小位移测量系统。首先,介绍了光三角测量法和激光成像的相关原理,在此基础上,设计了激光光束准直扩束系统和成像系统,为了提高测量精度,采用双远心光路系统作为光学成像系统,成像效果达到衍射极限；其次,对线阵CCD进行了相关的介绍,包括CCD驱动电路和视频信号处理电路系统；最后,对系统进行了简要的精度分析。

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中图分类: > 工业技术 > 机械、仪表工业 > 仪器、仪表 > 力学量测量仪表 > 位移测量仪表
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