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激光偏振膜稳定性研究

作 者: 赵元安
导 师: 杨向东
学 校: 四川大学
专 业: 原子分子物理
关键词: 激光偏振膜 波长漂移 无漂移偏振膜 抗激光诱导损伤阈值 交替 方向隐式原理
分类号: O484.41
类 型: 硕士论文
年 份: 2001年
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内容摘要


随着光学薄膜技术的不断发展,光学薄膜器件的应用日益广泛,光学薄膜的稳定性研究也被提到了极其重要的地位。为了解决大功率激光器中激光偏振膜的稳定性问题,本课题从镀膜材料特性、膜系设计、沉积工艺等方面对这一问题展开了深入的研究。 通过对影响偏振膜器件稳定性的各种因素及其物理机理的分析,提出了改善其稳定性的方法。分析了薄膜内电场分布对辐射稳定性的影响,并在此基础上,设计了低损耗的激光偏振膜;从温度场设计的角度出发,利用交替方向隐式原理编制了膜层内温度分布数值计算程序,通过计算薄膜热参数对膜层内温度分布的影响,对沉积工艺进行了相应的调整。根据膜层的柱状多晶结构是引起工作波长漂移的主要因素,利用等离子体辅助沉积制备出了中心波长为1054nm的无漂移偏振膜。 建立了一套完整的阈值测量系统,对制备的偏振膜阈值进行了测量。

全文目录


中文摘要  3-5
1. 引言  5-8
2. 影响光学薄膜稳定性的因素  8-13
  2.1 水汽对光学薄膜器件性能的影响  8-9
  2.2 温度对光学薄膜器件性能的影响  9-10
  2.3 辐射对光学薄膜器件性能的影响  10-12
  2.4 小结  12-13
3. 激光偏振膜的膜系设计  13-20
  3.1 镀膜材料的选择  13-14
  3.2 膜系设计  14-20
    3.2.1 理论分析  15-16
    3.2.2 优化算法及实例  16-20
4. 激光辐射致热薄膜温度响应的理论研究  20-27
  4.1 计算模型  20-23
  4.2 计算参数和计算结果  23-25
  4.3 讨论  25-27
5. 实验工艺  27-42
  5.1 实验设备及原理简介  27-29
  5.2 基片的表面粗糙度与洁净度  29-30
  5.3 镀制工艺  30-39
    5.3.1 厚度监控误差分析  31-33
    5.3.2 材料色散引起的误差分析  33-34
    5.3.3 镀制过程  34-35
    5.3.4 成膜质量因素分析  35-39
  5.4 偏振膜光学性能测量  39-42
6. 阈值测量  42-48
  6.1 损伤阈值测量光路  42-43
  6.2 入射激光能量的测量  43-44
  6.3 激光光斑等效面积的测量  44-45
  6.4 激光脉冲宽度  45
  6.5 损伤概率及阈值定义  45
  6.6 阈值测量结果  45-47
  6.7 结果分析  47-48
7. 总结  48-49
参考文献  49-52
致谢  52-53

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中图分类: > 数理科学和化学 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学 > 薄膜的性质 > 光学性质
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