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多元电化学沉积GaAs薄膜研究

作　者: 苏红兵
导　师: 陈庭金；施兆顺
学　校: 云南师范大学
专　业: 农村能源工程
关键词: 电化学沉积 GaAs薄膜 AlGaAs薄膜化学计量比太阳电池
分类号: TB43
类　型: 硕士论文
年　份: 2000年
下　载: 149次
引　用: 1次
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内容摘要

根据电化学原理，采用电化学沉积方法，在自行设计及制作的电解装置中，以石墨作为阳极材料，SnO₂导电玻璃、不锈钢和SnO₂/Al作为阴极衬底材料，在配制的简单盐溶液中，进行GaAs和AlGaAs薄膜生长条件系列实验。用X射线衍射仪、X射线波谱仪和日本岛津EPMA-1600和EPMA-8705电子探针对薄膜的形貌、结构和成分进行分析和判定，得到了化学计量比接近1：1的GaAs薄膜以及Al_xGa_1-xAs薄膜所希望的X值的最佳电化学沉积参数。本文从理论上阐述了两种或两种以上元素电化学共沉积的原理，并对GaAs薄膜成分与电化学沉积参数（溶液浓度、PH值、离子的浓度比、电流密度、阴极材料）的依赖关系、GaAs薄膜的性能作了研究，为获得实用的GaAs薄膜材料打下了基础。

全文目录

中文摘要  4-5
英文摘要  5-6
前言  6-9
1．电化学共沉积合成的原理  9-18
  1．1 电化学共沉积的条件  9-17
    1．1．1 电极电位的形成  9-14
    1．1．2 影响共沉积的因素  14-17
  1．2 电化学沉积物转化为合成物的热力学分析  17-18
2．电化学沉积GaAs薄膜的实验  18-24
  2．1 实验方法  18-24
    2．1．1 沉积参数的选择分析  18-22
    2．1．2 实验装置  22-23
    2．1．3 电解液的准备  23-24
    2．1．4 电极材料的预处理  24
    2．1．5 沉积层成分的分析  24
3．实验结果和分析  24-29
  3．1 沉积参数对GaAs薄膜成分的影响  24-28
  3．2 电化学沉积生长的GaAs薄膜的一些性能  28-29
    3．2．1 物理化学性能  28
    3．2．2 半导体性能  28-29
    3．2．3 薄膜的表面形貌分析  29
    3．2．4 薄膜的几何尺寸  29
    3．2．5 X衍射结构分析  29
4．讨论  29
5．实验结论  29-31
6．结束语  31-32
7．参考文献  32-34
8．附录  34-41
  附录1 GaAs薄膜（1号样）的形貌和剖面象  34-35
  附录2 1号样的薄膜成分分析  35-36
  附录3 GaAs薄膜（3号样）的形貌  36-37
  附录4 3号样的薄膜成分分析  37-38
  附录5 GaAs薄膜的X射线衍射谱和d-值  38-39
  附录6 2号样的薄膜成分分析  39-41
致谢  41-42
附件：就读期间发表的有关论文  42-53
  1．《陶瓷材料生产过程中流程图模型节能研究》（《新能源》1999．4）  43-47
  2．《电化学沉积砷化镓薄膜中电解液PH值自动控制的研究》（《新能源》通知录用）  47-52
  3．《氟络钛酸钾合成技术研究》（《化工新型材料》1995．8）  52-53

多元电化学沉积GaAs薄膜研究

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