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激光调阻机多功能控制器的研究

作　者: 戴宇峰
导　师: 修吉平
学　校: 华中科技大学
专　业: 材料加工工程
关键词: 激光调阻温度监控系统激励源采集系统
分类号: TG665
类　型: 硕士论文
年　份: 2009年
下　载: 21次
引　用: 1次
阅　读: 论文下载

内容摘要

激光技术是二十世纪与原子能、半导体、计算机齐名的四大发明之一，自上世界八十年代起，激光技术广泛应用于加工领域。在电子工业中，激光微细加工技术成为打破半导体技术“瓶颈”的关键技术。激光调阻机用来高效地生产膜电阻以及集成电路中的印刷电阻，是激光加工设备在电子工业中的一种应用。多功能控制器是激光调阻机功能实现的关键部分之一，主要负责电阻调阻过程中的实时检测与控制，在测量过程中，要求检测精度高、速度快。多功能控制器由温度监控系统、激励源(高精度稳恒直流源、连续可调电压源)、AD采集板和探针板组成。本文围绕激光调阻机的多功能控制器进行了以下几方面的研究和设计工作。本文首先分忻了激光调阻机的结构和原理，通过查阅了大量的国内外资料和文献，分忻了国内外激光调阻机的现状以及该课题提出的意义。根据激光调阻机的要求，本文对多功能控制器的主要功能进行了分忻，并在此基础上提出了该项目的总体规划以及技术方案。针对热敏电阻调阻需要，以红外测温为基础研究并设计了非接触温度监控装置。为进行电阻调阻和功能调阻，分别设计了高精度稳恒直流源和连续可调电压源。根据激光调阻机工作要求，选择了采集板卡以及外围电路，设计了探针板，并为多功能控制器选择供电电源。根据激光调阻多功能控制器与上位机(工业计算机IPc)的通信要求，设计并完成了串行通信程序的编写。最后，在论文结尾部分对多功能控制器进行了总结。

全文目录

摘要  4-5
Abstract  5-8
1 绪论  8-14
  1.1引言  8-9
  1.2激光调阻机概述  9-11
  1.3国内外激光调阻机发展现状及分析  11-12
  1.4课题的提出以及技术方案  12-14
2 控制器的总体功能规划  14-20
  2.1激光调阻类型  14-17
  2.2控制器的整体规划  17-19
  2.3主要功能与技术指标  19-20
3 温度监控系统的设计  20-30
  3.1红外测温技术  20-22
  3.2热电偶测温技术  22-25
  3.3 IC温度传感器AD590、的工作原理及特点  25-26
  3.4温度监控系统的设计  26-30
4 激励源的设计  30-36
  4.1高精度稳恒直流源的设计  30-33
  4.2连续可调电压源的设计  33-36
5 采集系统以及电源系统的选择与设计  36-42
  5.1数据采集板卡的选择  36-37
  5.2探针板及检测探针控制电路的设计  37-39
  5.3电源系统的选择与设计  39-42
6 单片机控制电路及其软件设计  42-54
  6.1单选择  42-44
  6.2单片机相关电路的设计  44-48
  6.3单片机软件设计  48-50
  6.4通信协议  50-54
7 控制器的调试与抗干扰  54-58
  7.1控制器的硬件调试  54
  7.2控制器的软件调试  54-55
  7.3控制器硬件的抗干扰措施  55-57
  7.4软件的抗干扰措施  57-58
8结论  58-60
致谢  60-61
参考文献  61-64

激光调阻机多功能控制器的研究

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