学位论文 > 优秀研究生学位论文题录展示
RF MEMS开关及其在移相器中的应用研究
作 者: 严春早
导 师: 许高斌
学 校: 合肥工业大学
专 业: 微电子与固体电子学
关键词: RF MEMS 开关 移相器 欧姆接触 电容耦合
分类号: TN623
类 型: 硕士论文
年 份: 2009年
下 载: 221次
引 用: 3次
阅 读: 论文下载
内容摘要
射频微电子机械系统(RF MEMS)技术在现代通信领域中越来越受到重视。MEMS技术以其自身特性,可以避免传统PIN开关和场效应开关在射频系统中的严重缺陷,和现代高密集型系统的设计相匹配,具有功耗小、射频性能优越、易集成等优点。因此研究RF MEMS开关及其应用有非常重要的现实意义。本文首先简要地介绍了国内外RF MEMS开关、MEMS移相器的发展概况。接着详细地比较了MEMS开关各种常见的静电、电磁、电热、压电和形状记忆金属驱动机制。建立了欧姆接触式和电容耦合式RF MEMS开关的力学模型和电磁模型,其中包括悬臂梁和固支梁开关的弹性系数、下拉电压、电容和阻抗。通过模型优化开关设计,并用设计好的电容耦合式RF MEMS开关搭建一个准4位分布式MEMS传输线移相器。此分布式移相器可以工作在40GHz频段内,其中RF MEMS开关的驱动电压大约在20伏左右。移相器由15个RF MEMS开关周期性地加载在一段共面波导上而实现,可实现的步进为23.95°。移相器单位长度为144um,共面波导采用高阻硅衬底,氮化硅介质层,并在高阻硅衬底表面氧化了一层0.8um厚的氧化物。采用ANSYS软件模拟了开关的力学变形效果,用HFSS软件仿真了开关的S参数,从模拟结果可见,此设计可以满足移相器设计需要。
|
全文目录
相似论文
- 开关阀控气缸模型及PWM控制系统的研究,TH138
- 半实物火炮自动操瞄俯仰角度控制系统的研究,TJ303
- 开关磁阻发电机供电系统仿真分析,TM31
- 可连续调频调幅的不对称正弦波逆变电源研制,TM464
- 基于LC谐振充电和POS的功率脉冲电源研究,TN782
- 单片机AVR运用开发,TP368.12
- 10kV环网开关柜接地开关防误操作电磁锁的研究,TM591
- 共面电容耦合低轮廓印刷天线的研究,TN820
- 小型开关磁阻风力发电机控制系统研究,TM352
- 实用化ns级高压脉冲电源的研制,TM46
- 基于RSA和Eflash的安全SOC设计,TN47
- 新型可重构天线的研究与设计,TN820
- 基于SPPs波导的光学特性研究,TN252
- 基于单电子晶体管的逻辑电路设计,TN323
- 基于光子晶体的可重构分插复用器(ROADM)的特性研究,TN929.1
- 沿面击穿型高压开关触发系统的设计与研究,TM564
- 用于船舶压载水处理的脉冲电源开关研究,TM832
- 微机继保测试系统开关功率放大技术的研究,TM774
- 大功率照明LED驱动控制研究,TM923.34
- 神光Ⅲ能源模块主开关触发系统结构的研究,TM832
- 微波驱动电源及微波烧结炉研究,TN015
中图分类: > 工业技术 > 无线电电子学、电信技术 > 电子元件、组件 > 微波传输控制元件 > 移相器、铁氧体移相器
© 2012 www.xueweilunwen.com
|