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铁电聚合物基非易失存储结构的电学性能研究
作 者: 张吉皓
导 师: 朱国栋
学 校: 复旦大学
专 业: 物理电子学
关键词: 铁电聚合物 电容结构 C-V回线 极化疲劳 数据保持
分类号: O482.4
类 型: 硕士论文
年 份: 2011年
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内容摘要
聚偏二氟乙烯(PVDF)及二氟乙烯与三氟乙烯的共聚物P(VDF-TrFE)的具有自发极化强度相对较高、极化稳定性强、极化翻转时间短等优点,作为一种新型的铁电功能材料,已经受到越来越多的关注。本文基于铁电聚合物,分别制备了金属-铁电材料-半导体(MFeS)和金属-铁电材料-氧化物-半导体(MFeOS)两种非易失性存储结构,分别表征其形貌结构和电学性能,对器件的电学疲劳特性和数据保持能力做了研究。主要研究内容包括:1、对MFeS器件的电学疲劳特性进行了研究。在自建的Sawyer-Tower电路上,通过改变极化疲劳电压的频率,研究器件结构的疲劳特性,发现器件的疲劳速率对外加疲劳电压的频率有很强的依赖性,频率越高,疲劳速率越慢。同时,通过和MFeM结构疲劳速率的比较,得到了不同电极对于器件疲劳性能的影响。2、对MFeOS器件结构的电学性能进行研究。在极化过程中,观察开关比、记忆窗口和C-V回线的变化,得到:随着疲劳的深入,MFeOS结构的开关比减小,记忆窗口变化等现象,并尝试对其中观察到的现象做了解释。此外,我们对MFeOS结构的数据保持性能进行研究,研究写入电压的极性、幅度以及脉宽对MFeOS结构数据保持能力的影响,并加以解释。
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全文目录
摘要 5-6 Abstract 6-7 第一章 引言 7-18 1.1 铁电聚合物概述 7-9 1.2 铁电性综述 9-10 1.3 极化疲劳 10-11 1.4 铁电电容存储结构及原理 11-12 1.5 半导体器件物理原理 12-17 1.5.1 MOS结构 13 1.5.2 功函数 13-14 1.5.3 界面结构 14-15 1.5.4 C-V曲线 15-16 1.5.5 高频C-V特性测量电路 16-17 1.6 本论文研究的内容 17-18 第二章 电容结构的样品制备及表征 18-29 2.1 铁电聚合物P(VDF-TrFE)溶液的配制 18 2.2 电容结构的样品制备 18-21 2.3 薄膜表征 21-28 2.3.1 P(VDF-TRFE)聚合物薄膜的AFM形貌表征 21-26 2.3.1.1 原子力显微镜(AFM)的原理 21-25 2.3.1.2 P(VDF-TrFE)聚合物薄膜的AFM表面形貌 25-26 2.3.2 X射线衍射谱(XRD) 26-28 2.3.2.1 布拉格(Bragg)定律 26-27 2.3.2.2 铁电薄膜XRD表征 27-28 2.4 本章小结 28-29 第三章 MFeS结构的电学疲劳特性的研究 29-39 3.1 实验方法 29-33 3.1.1 实验样品制备 29-30 3.1.2 P-V电滞回线的测量 30-32 3.1.3 极化疲劳的表征 32-33 3.2 实验结果 33-36 3.3 结果与讨论 36-38 3.3.1 极化疲劳 36-37 3.3.2 P-V电滞回线中的矫顽场 37 3.3.3 铁电开关电流峰的减小 37-38 3.3.4 铁电薄膜的厚度 38 3.3.5 P-Si/Al与Al底电极的比较 38 3.4 本章小结 38-39 第四章 MFeOS结构的电学特性的研究 39-59 4.1 实验力法 39-41 4.1.1 实验样品制备 39-40 4.1.2 C-V回线的产生及测量 40-41 4.1.3 C-V回线中的记忆窗口和开关比 41 4.2 实验结果 41-54 4.2.1 样品形貌及结晶度表征 41-42 4.2.2 C-V曲线表征 42-44 4.2.3 MFeOS结构电学疲劳性能的研究 44-48 4.2.3.1 MFeOS结构平带电容C_(FB)、V_(FB)和开关比(△C_(max))的确定 45 4.2.3.2 极化电压对MFeOS器件结构的影响 45-48 4.2.4 MFeOS结构retention性能的研究 48-54 4.2.4.1 负写入电压幅度变化对retention性能的影响 49-51 4.2.4.2 负写入电压时间变化对retention性能的影响 51-52 4.2.4.3 正写入电压幅度变化对retention性能的影响 52-53 4.2.4.4 正写入电压时间变化对retention性能的影响 53-54 4.3 结果与讨论 54-58 4.3.1 C-V测试参数的选择 54-56 4.3.1.1 扫描信号频率对C-V曲线的影响 54 4.3.1.2 扫描时间对C-V曲线的影响 54-55 4.3.1.3 扫描电压范围对C-V曲线的影响 55-56 4.3.2 MFeOS结构中的铁电膜分压讨论与计算 56-57 4.3.3 极化过程中开关比C~+的变化讨论 57 4.3.4 极化过程中记忆窗口的变化讨论 57-58 4.4 本章小结 58-59 五 总结与展望 59-60 参考文献 60-64 攻读硕士学位期间发表的论文 64-65 致谢 65-66
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中图分类: > 数理科学和化学 > 物理学 > 固体物理学 > 固体性质 > 电学性质
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