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基于声表面波技术的轮胎压力传感器的研究

作　者: 陈诚
导　师: 刘胜
学　校: 华中科技大学
专　业: 精微制造工程
关键词: 汽车轮胎压力监测系统声表面波谐振器气密性封装玻璃焊料
分类号: TH812
类　型: 硕士论文
年　份: 2007年
下　载: 160次
引　用: 1次
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内容摘要

近代汽车工业发展很快,汽车人均拥有量在迅速增长,而且随着高速公路的发展,近代汽车行驶速度不断提高,因此对汽车安全行使的要求越来越高。轮胎是汽车行驶机构的重要组成部分,对汽车操纵的稳定性、平顺性和安全性都起着关键作用。为了适应汽车的高速性,在提高轮胎的质量和使用性能的同时,要开发能够实时监控轮胎工作状况的设备。本论文在充分了解和研究了目前国内外的轮胎压力监测系统的前提下,提出了基于声表面波技术的轮胎压力监测系统,它具有无线、无源、体积小、分辨率高等优点。文中对声表面波传感器的理论设计,谐振器的材料选择、结构设计以及传感器的封装工艺进行了深入的研究。本文主要从三个方面展开了研究:首先,在声表面波传感器的设计方面:对声表面波传感器的原理进行了深入的研究,包括瑞利波的传播特性和各种常用的声表面波器件的基本结构和原理;此外,对声表面波器件的加工工艺以及常用的基片材料进行了研究。其次,在谐振器的结构设计方面:对本论文所研究的轮胎压力传感器的声表面波谐振器进行了详细的结构设计,包括谐振腔长度、叉指换能器、反射器的参数以及金属镀膜设计,并用有限元法对谐振器的位置进行了优化。最后按照设计参数制作出了压力传感器芯片样品。最后,在传感器的封装方面:设计了两层的全石英封装结构,设计和制作了用于封装的石英盖,用低温玻璃焊料对传感器进行了封装,并且对封装后的传感器进行了泄漏率检测。

全文目录

摘要  4-5
Abstract  5-8
1 绪论  8-17
  1.1 概述  8-11
  1.2 国内外研究概况  11-13
  1.3 市场应用前景  13-15
  1.4 研究内容和论文安排  15-17
2 声表面波器件原理及制作工艺  17-27
  2.1 声表面波技术的发展概况  17-18
  2.2 声表面波的传播特性  18-20
  2.3 声表面波器件  20-23
  2.4 声表面波器件的制作工艺  23-26
  2.5 本章小结  26-27
3 谐振式压力传感器的设计和制作  27-39
  3.1 基本工作机理  27-30
  3.2 声表面波谐振器设计  30-34
  3.3 谐振器在基片上的位置  34-36
  3.4 谐振器的制作  36-38
  3.5 本章小结  38-39
4 压力传感器的封装  39-47
  4.1 压力传感器封装要求  39
  4.2 石英谐振器键合工艺的研究  39-44
  4.3 压力传感器封装的泄漏率检测  44-46
  4.4 本章小结  46-47
5 总结与展望  47-49
  5.1 全文总结  47
  5.2 对后续工作的展望  47-49
致谢  49-50
参考文献  50-51

基于声表面波技术的轮胎压力传感器的研究

内容摘要

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