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具有自准功能的激光三角传感头设计

作　者: 韩冰
导　师: 安志勇
学　校: 长春理工大学
专　业: 仪器科学与技术
关键词: 激光三角法自准直激光位移传感器位置敏感探测器(PSD)
分类号: TP212.9
类　型: 硕士论文
年　份: 2013年
下　载: 4次
引　用: 0次
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内容摘要

激光三角法是一种常用的光电测位移方法,它是一种非接触测量方法,具有在测量时不损伤工件表面、对被测材料要求不高、系统结构简单、抗干扰能力强、测量准确度高等特点,大量的应用于各种几何量的测量。自准直功能是实现生产实时测量的重要方法,既能保证测量精度又可以提高生产效率。本文在分析了传统激光三角的测量原理的基础上,结合生产实际要求,设计了一种带有自准功能的激光三角传感头。文中详细研究了激光三角法的测量原理,分析了几种激光三角传感头的结构,研究了PSD的功能和特性。在此基础上,对传感头进行了光学系统设计、结构设计,并对传感头进行了误差分析。设计的具有自准功能的激光三角传感头具有使用简便、精度高、体积小、易于调试、调整等优点。

全文目录

摘要  4-5
ABSTRACT  5-8
第一章绪论  8-14
  1.1 引言  8-9
  1.2 研究的目的和意义  9-10
  1.3 激光三角法测位移的国内外发展现状  10-13
  1.4 研究的主要内容和技术指标  13
  1.5 本章小结  13-14
第二章激光三角传感头测量原理  14-20
  2.1 激光三角法测位移测量原理  14-15
  2.2 两种激光三角传感头结构讨论  15-17
  2.3 两种激光三角测位移系统的特性比较  17-18
  2.4 系统自准原理  18-19
  2.5 本章小结  19-20
第三章激光三角传感头光学系统设计  20-30
  3.1 激光光源的选取  20-21
  3.2 光束整形系统设计  21-23
  3.3 自准直系统设计  23-24
  3.4 接收系统光学设计  24-29
  3.5 本章小结  29-30
第四章激光三角传感头结构设计  30-41
  4.1 PSD的选取与分析  30-36
  4.2 系统噪声初步消除手段  36-38
  4.3 系统结构设计  38-40
  4.4 本章小结  40-41
第五章误差分析  41-52
  5.1 仪器精度分析  41-46
  5.2 被测物体对测量精度的影响  46-51
  5.3 本章小结  51-52
总结  52-53
致谢  53-54
参考文献  54-55

具有自准功能的激光三角传感头设计

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