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共焦法测透明材料厚度系统及其数据处理技术的研究

作　者: 李天植
导　师: 徐熙平
学　校: 长春理工大学
专　业: 仪器科学与技术
关键词: 厚度检测数据处理光谱仪
分类号: TH821.1
类　型: 硕士论文
年　份: 2014年
下　载: 3次
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内容摘要

在目前非接触式测量已经慢慢成为主流技术的趋势下,本文对基于共焦法对透明材料厚度测量技术进行了进一步的研究,提出了一套适合本测量系统的数据采集、处理以及软件编程方案,提高了测量精度与效率,验证了本方案的可行性。本文主要从两个方面对共焦测量系统进行研究。其中包括对原理的研究与软件系统的设计。原理的研究介绍了共焦原理以及厚度计算公式的推导,并且根据要求选择了一套比较合理的硬件设备,包括光源、载物台、光纤、以及光谱仪等。软件系统包括了数据采集部分、处理部分以及上位机界面的展示部分。与原有的软件系统相比,本文提出一种新的设计方案,不仅从计算公式的简洁性、精确性有了提升,更是使得测量过程可进行实时检测。

全文目录

摘要  4-5
ABSTRACT  5-6
目录  6-7
第一章绪论  7-12
  1.1 课题的研究背景与意义  7
  1.2 国内外发展现状  7-11
  1.3 研究内容及基本组成  11-12
第二章共焦法厚度检测系统总体方案  12-18
  2.1 共焦测量原理的研究  12-13
  2.2 共焦测量系统的总体方案及其结构组成  13-17
  本章小结  17-18
第三章软件的设计与数据处理技术的研究  18-35
  3.1 LabVIEW上位机软件设计  18-22
  3.2 数据处理技术的研究  22-29
  3.3 软件界面展示与程序的优化  29-34
  本章小结  34-35
第四章实验数据论证与误差来源分析  35-44
  4.1 误差来源分析  37-40
  4.2 实验测试论证  40
  4.3 误差修正方法研究  40-43
  本章小结  43-44
第五章结论与展望  44-45
致谢  45-46
参考文献  46

共焦法测透明材料厚度系统及其数据处理技术的研究

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