学位论文 > 优秀研究生学位论文题录展示

纳米级五维调整架结构设计

作　者: 王志海
导　师: 李丽娟
学　校: 长春理工大学
专　业: 仪器科学与技术
关键词: 干涉仪纳米分辨力五维调整架静力学分析模态分析
分类号: TH744.3
类　型: 硕士论文
年　份: 2013年
下　载: 4次
引　用: 0次
阅　读: 论文下载

内容摘要

在利用干涉仪对光学元件进行高精度面形检测时,需要对标准具进行多维调整,现有的调整架多为手动调整,效率比较低,并且分辨力低。针对这一问题,本文设计出一款高分辨力、稳定性好的电动五维调整架。文章中对调整架的功能进行了详细分析,通过对驱动系统、微调结构等其他子系统进行计算与选型,初步确定了调整架的设计方案。论文中应用有限元分析软件ANSYS对利用CATIA建立的三维模型进行了仿真分析,针对一些关键受力结构进行静力学分析及优化。另外对调整架的模态与响应谱也做了研究,通过软件仿真找出其薄弱环节并进行结构优化。本次设计的样机经实验检测,其位移分辨力可以达到70nm,角度分辨力可以达到0.1",干涉条纹经过两个小时后不再漂移,结果表明调整架满足使用要求。

全文目录

摘要  4-5
ABSTRACT  5-7
第一章绪论  7-10
  1.1 研究目的及意义  7
  1.2 国内外发展现状  7-8
  1.3 研究内容  8-10
第二章五维调整架的总体设计  10-23
  2.1 设计要求及指标  10-11
  2.2 机械系统设计方案  11-14
  2.3 控制系统设计方案  14-15
  2.4 器件选型及设计参数计算  15-23
第三章 CATIA三维建模  23-30
  3.1 X、Y平移结构建模  23-26
  3.2 θ_x、θ_y及Z平移结构建模  26-28
  3.3 限位、防转保护结构  28-29
  3.4 总体结构模型  29-30
第四章静力学分析  30-38
  4.1 有限元法的概述  30-31
  4.2 静力学分析理论基础  31-34
  4.3 调整架关键部件的静力学分析及优化  34-38
第五章动力学分析  38-45
  5.1 模态分析理论基础  38-39
  5.2 调整架结构的模态分析  39-42
  5.3 响应谱分析理论  42
  5.4 调整架简化结构响应谱分析  42-45
第六章测试实验及结论  45-50
  6.1 检测设备和方法  45-46
  6.2 测试结果分析  46-50
总结与展望  50-51
致谢  51-52
参考文献  52-53

纳米级五维调整架结构设计

内容摘要

全文目录

相似论文