学位论文 > 优秀研究生学位论文题录展示

非球面光学元件超精密磨削加工精度分析与误差补偿技术研究

作　者: 谢丹
导　师: 于化东
学　校: 长春理工大学
专　业: 机械制造及其自动化
关键词: 非球面超精密磨削测量数据砂轮对刀误差倾斜误差
分类号: TG580.6
类　型: 硕士论文
年　份: 2011年
下　载: 82次
引　用: 0次
阅　读: 论文下载

内容摘要

随着各种光电产业技术的不断发展,对其产品性能要求越来越高,特别是对非球面元件加工精度以及表面质量提出了更高的要求,因此如何使非球面元件具有更高的形状精度和更光滑的表面成为一个重要的研究内容。本文从提高磨削加工工艺和检测精度的角度出发,在测量数据处理、加工精度分析、误差补偿加工等方面进行了深入研究。本文以φ51.5mm的凸形非球面镜的磨削加工和接触式检测为研究对象,针对动态测量数据的特点,提出对中心化后的数据基于莱以特准则的异常值剔除方法。根据磨削过程中工件表面出现漩涡状菊花纹和中心锥形凸台的现象,分析了砂轮对刀误差对轮廓形状的影响。对安装倾斜误差,提出了基于椭圆拟合的去除方法。最后,通过零位补偿法检测该非球面元件,面形精度达到PV=0.237λ和RMS=0.036λ,验证了加工工艺改进方法的合理性。

全文目录

摘要  4-5
ABSTRACT  5-6
目录  6-8
第一章绪论  8-16
  1.1 课题背景  8
  1.2 课题研究的目的和意义  8-9
  1.3 国内外光学加工技术与设备的现状  9-13
  1.4 非球面加工与检测误差补偿技术现状  13-15
  1.5 本文研究内容  15-16
第二章非球面接触式测量方法  16-22
  2.1 引言  16
  2.2 轮廓仪测量原理与方法  16-18
  2.3 轮廓仪性能指标与工作环境  18-20
  2.4 接触式测杆型号  20-21
  2.5 本章小结  21-22
第三章非球面动态检测数据特征分析  22-30
  3.1 引言  22
  3.2 非球面动态测量数据组成  22-24
  3.3 非平稳均值过程的测量数据平稳化  24-25
  3.4 非球面测量数据预处理方法  25-27
  3.5 动态测量系统的测量误差分析  27-28
  3.6 非球面测量误差的评定指标  28-29
  3.7 本章小结  29-30
第四章非球面磨削加工对刀误差分析  30-46
  4.1 引言  30
  4.2 Opto Tech ASM100 CNC加工系统  30-32
  4.3 最佳比较球面半径的确定  32-34
  4.4 砂轮X轴向对刀误差分析  34-40
  4.5 砂轮Y轴向对刀误差分析  40-45
  4.6 本章小结  45-46
第五章基于无基准子午测量线的非球面面形误差分析  46-58
  5.1 引言  46
  5.2 非球面子午测量线的采集数据回归模型分析  46-52
  5.3 测头的半径大小对测量值的影响  52-54
  5.4 基于椭圆拟合的测量数据倾斜误差分离与面形误差评定  54-56
  5.5 基于干涉检验的非球面三维面形误差评定  56-57
  5.6 本章小结  57-58
总结与展望  58-60
致谢  60-61
参考文献  61-64
附录A 攻读硕士学位期间发表学术论文情况  64-65
附录B Matlab编写的程序代码  65

非球面光学元件超精密磨削加工精度分析与误差补偿技术研究

内容摘要

全文目录

相似论文