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新型小尺寸零件直线度测量仪的研究

作　者: 陈继忠
导　师: 蒋大文
学　校: 四川大学
专　业: 测试计量技术及仪器
关键词: 直线度静压气浮导轨自动控制
分类号: TG83
类　型: 硕士论文
年　份: 2001年
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内容摘要

测量仪器的精度和性能受到零件尺寸、形状和位置等几何要素的影响。形状误差是表征零件形状的重要几何要素。直线度作为形状误差的要素之一，直接影响仪器精度、性能和质量。在有些场合，甚至是决定因素。随着科学技术的发展，对产品零件要求微型、精密，因此对小尺寸零件形状误差测量提出了越来越高的要求。而对小尺寸零件的直线度和平面度的测量技术及方法目前较为落后，基于此，本课题选择小尺寸零件直线度测量仪为主要研究对象，对测量原理及方法进行研究。本文主要论述了基于静压气浮导轨的小尺寸零件直线度测量仪的研究。简述了传统的直线度测量方法，以及国内外当前在静压气浮导轨方面的研究水平。其次，探讨了相关理论基础：静压气浮导轨的基本理论、直线度误差的评定方法。在此基础上，分析论证了本课题的可行性和科学性，通过对小尺寸零件的测量原理、特点和实际测量中的具体要求进行分析和实际调查，提出了该小尺寸零件直线度测量仪的整体结构设计方案，并着重论述了该设计方案中的静压气浮导轨、驱动和软件对测量数据的处理等具体设计方法。最后，使用该方案所设计的测量仪进行实验，并对实验数据结果进行处理和分析，结果表明该小尺寸零件直线度测量系统能满足测量要求，并能提供自动的数据采集和图象分析，给我们今后开发小尺寸零件直线度测量仪提供了一定的基础。

全文目录

中文摘要  2-4
英文摘要  4-8
第一章绪论  8-16
  1．1 课题的目的和意义  8
  1．2 目前国内外测量动态、方法和仪器  8-14
    1．2．1 无直线基准测量方法  8-10
    1．2．2 有直线基准测量方法  10-13
    1．2．3 直线度测量方法分析  13-14
  1．3 课题的主要要求  14
    1．3．1 课题任务  14
    1．3．2 测量仪器的技术指标  14
  1．4 课题主要工作内容  14-16
第二章相关理论基础  16-26
  2．1 直线度测量的基本理论  16-19
    2．1．1 直线度误差  16-17
    2．1．2 直线度误差的评定方法  17-19
  2．2 气体静压导轨的基本理论  19-24
    2．2．1 概述  19-20
    2．2．2 工作原理  20-21
    2．2．3 静压气浮导轨的结构分类  21-22
    2．2．4 静压气浮导轨的节流器  22-24
  2．3 数据拟合  24-26
第三章新型小尺寸直线度测量仪的设计  26-45
  3．1 总体方案  26-27
  3．2 机械部分设计  27-34
    3．2．1 导轨设计  27-30
    3．2．2 测头的调整机构设计  30-31
    3．2．3 工作台的调整机构设计  31-32
    3．2．4 驱动机构设计  32-33
    3．2．5 精度分析  33-34
  3．3 软件的设计  34-45
    3．3．1 数据采集程序设计  34-38
    3．3．2 驱动程序设计  38
    3．3．3 数据处理设计  38-42
    3．3．4 传感器特性曲线拟合  42-45
第四章实验数据处理与分析  45-54
  4．1 检验仪器重复性的实验  45-46
  4．2 检验仪器稳定性的实验  46-48
  4．3 检验仪器测量误差的实验  48-49
  4．4 对比实验  49-51
  4．5 全量程测量实验  51-52
  4．6 气压对导轨直线度误差影响实验  52-54
第五章总结  54-56
  5．1 结论  54
  5．2 结束语  54-56
致谢  56-57
参考文献  57-60

新型小尺寸零件直线度测量仪的研究

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