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声表面波器件中声波传播特性的研究

作　者: 徐贺华
导　师: 杨吉生
学　校: 天津大学
专　业: 光学
关键词: 声表面波器件分层介质声光可调谐滤波器
分类号: TN65
类　型: 硕士论文
年　份: 2007年
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内容摘要

声表面波器件作为一种新型的电子器件,近年来无论是在科学研究领域还是实际应用领域都有了很大的发展。声表面波器件种类繁多,主要有表面波滤波器、无线传感器、谐振器、延迟线、匹配滤波器、振荡器、表面波卷积器等。由于声表面波器件具有小型、可靠性高、一致性好、多功能以及设计灵活等优点,所以它在现代无线通讯领域、光纤通讯网络、空中交通管制、电子战、无损检测、声纳以及电视技术中得到了广泛的应用。声表面波器件的制造离不开对声表面波在器件所使用的压电材料中的传播特性的研究,本文做的正是这方面的工作。因为薄膜材料的应用是声表面波器件的一个重要的发展方向,所以我选择了声表面波在分层介质中的传播特性作为研究内容。第一章,我们介绍了声表面波在分层介质中传播特性的基本研究方法。第二章,利用第一章所讲的理论对声表面波在器件制造中常用的压电材料LiNbO₃和石英中的传播特性进行了研究,并且研究了声表面波在覆盖了金属、硅或石英薄膜后的X切Y传LiNbO₃中的传播特性。第三章,我们对声表面波在几种分层介质中的传播特性进行了研究,并结合声波导的知识进行了新型声波导的设计,还研究了声表面波在声慢/声快双层介质结构中的传播特性。第四章,我们结合已有的计算结果,对集成光学声光可调谐滤波器（AOTF）的核心元件—模转换器的结构进行了新的设计。

全文目录

摘要  2-3
Abstract  3-5
绪论  5-10
  1 声表面波器件的特点  5-6
  2 声表面波器件的基本构造及材料  6
  3 声表面波器件近年来的研究进展  6-8
  4 SAW器件未来的发展趋势  8-9
  5 本文的研究内容  9-10
第一章分层介质中声表面波的求解  10-18
  1.1 分层介质结构中声表面波的求解  10-15
  1.2 声表面波的几个基本概念  15-16
  1.3 走离角φ的三次样条方法求解  16-18
第二章声表面波在铌酸锂和石英及覆盖薄膜后的铌酸锂中的传播特性  18-30
  2.1 声表面波在铌酸锂中的传播特性  18-24
  2.2 声表面波在石英中的传播特性  24-26
  2.3 声表面波在X切Y传LiNbO_3覆盖金属及硅，石英薄膜后速度改变  26-30
第三章声表面波在分层介质中传播特性及对声波导的研究  30-38
  3.1 声光模转换器中条形及槽形声波导的研究  30-35
  3.2 SAW在声慢/声快双层介质结构中的传播特性  35-38
第四章集成光学声光可调谐滤波器新结构的设计及声光器件的温度稳定性  38-43
  4.1 传统AOTF结构设计的不足  38-40
  4.2 新的AOTF结构的设计  40-41
  4.3 声光器件中的温度稳定性问题  41
  4.4 一种新的压电介质  41-43
参考文献  43-46
发表论文和参加科研情况说明  46-47
致谢  47

声表面波器件中声波传播特性的研究

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