学位论文 > 优秀研究生学位论文题录展示

硅基二氧化硅光波导环形谐振器的技术研究

作　者: 闵洁
导　师: 石邦任
学　校: 长春理工大学
专　业: 光学
关键词: 集成光学陀螺环形谐振器定向耦合器硅基二氧化硅
分类号: TN252
类　型: 硕士论文
年　份: 2009年
下　载: 125次
引　用: 1次
阅　读: 论文下载

内容摘要

本文首先对环形谐振器的谐振特性做了理论研究,阐述了理想光源激励下谐振器的主要参数对谐振性能及精细度的影响。接着基于理论分析的基础上,提出了一种应用于集成光学陀螺的谐振器的优化设计方案。光波导材料为传输损耗为0.01dB/cm的硅基二氧化硅材料,有效的降低了谐振腔内部的损耗,使得谐振腔内损耗仅为0.5dB,利于谐振腔的高精度;光波导结构采用准单模矩形结构,利用腔中的弯曲波导对一阶模的有效滤除实现了光的基模传输,利于谐振腔的小型化;结合BPM软件,完成了对单模波导、弯曲波导部分、定向耦合器和无源环形谐振器整体结构的模拟和设计。最后对PRR样品进行通光测试,实验验证了此优化设计方法是有效可行的。

全文目录

摘要  4-5
ABSTRACT  5-6
目录  6-7
第一章绪论  7-11
  1.1 引言  7-9
  1.2 环型谐振器的材料及种类  9
  1.3 论文研究的目的和内容  9-11
第二章环形谐振器的理论分析  11-27
  2.1 谐振特性分析  11-17
    2.1.1 理想光源时谐振器的谐振特性  11-14
    2.1.2 各种损耗对谐振腔特性的影响  14-17
  2.2 环形谐振器的重要参数精细度  17-25
    2.2.1 谐振器固有精细度的计算  17-19
    2.2.2 考虑光源影响时谐振器的输出特性函数  19-23
    2.2.3 谐振器有效精细度的计算  23-25
  2.3 光源谱宽对谐振腔精细度的影响  25-27
第三章硅基二氧化硅光波导环形谐振器的优化设计  27-45
  3.1 波导材料的选择  27-28
  3.2 单模矩形波导的设计  28-31
  3.3 弯曲波导损耗的数值模拟  31-37
    3.3.1 矩形波导有效折射率法  31-34
    3.3.2 保角变换分析法  34-35
    3.3.3 矩阵法求弯曲波导损耗  35-37
  3.4 定向耦合器的设计  37-45
    3.4.1 定向耦合器的理论分析  37-39
    3.4.2 BPM法对定向耦合器模拟优化  39-45
第四章环形谐振器的通光测试  45-49
  4.1 掩膜制版的方案  45-46
  4.2 环形谐振器的通光测试  46-49
结论  49-50
致谢  50-51
参考文献  51-52

硅基二氧化硅光波导环形谐振器的技术研究

内容摘要

全文目录

相似论文