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高速波导声光调制器的研究
作 者: 刘璟
导 师: 宁继平
学 校: 天津大学
专 业: 光电子技术
关键词: 高速波导声光调制器 声表面波波速 声波导设计 光波导
分类号: TN761
类 型: 硕士论文
年 份: 2008年
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引 用: 1次
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内容摘要
高速波导声光调制器以其开关速度快、体积小、插入损耗小、驱动功率低、机械稳定度高、设计灵活方便、便于集成等优点,在调制器的研究中具有很广的应用前景,并且这种调制器可用在高速光通信领域中。本文对高速波导声光调制器的理论和实验分别进行了研究。对声波导和光波导进行了理论分析,尝试了调制器的第一步试制,并做了实验研究。论文的主要内容包括以下几个方面:1.回顾和介绍了当今波导声光调制器的国内外研究进展和趋势;2.研究了波导声光调制器的基本理论,包括:声表面波原理、光波导中的导波、表面波声光效应、波导声光调制原理等;3.通过理论分析,从耦合波方程和压电方程出发,利用边界条件,通过声表面波波速的求解原理,在解耦的情况下,综合考虑声表面波的波速和机电耦合系数,提出了一种设计声波导厚度的方法,并且通过计算机仿真。4.选择光束传播法(BPM法)对光波导进行分析。利用OptiBPM软件,对原设计的高速波导声光调制器的光波导部分进行了模拟和分析。分析影响锥形波导性能的三个主要设计参数,并在此基础上重新进行了锥形波导的优化设计。5.高速波导声光调制器的试制和实验研究。完成器件第一步——光波导部分的试制。实验研究主要是测试试制的器件,并对测试结果进行了分析,提出改进意见。
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全文目录
中文摘要 3-4 ABSTRACT 4-8 第一章 绪论 8-14 1.1 集成光学的发展 8-9 1.2 光调制器和光开关的发展 9-10 1.3 声光器件及声表面波的发展与应用 10-11 1.4 国内外波导声光调制器的研究现状 11-12 1.5 本论文主要内容 12-14 第二章 波导声光调制器基本原理 14-26 2.1 声表面波 14-17 2.1.1 声表面波技术的发展史 14-15 2.1.2 弹性波 15 2.1.3 瑞利波 15-17 2.2 光波导中的导波 17-21 2.3 表面波声光效应 21-22 2.4 机电耦合系数 22-23 2.5 波导声光调制原理 23-26 第三章 声表面波求解方法 26-32 3.1 压电介质中的声表面波 26-29 3.1.1 压电介质中的耦合波方程 26-28 3.1.2 介质表面的边界条件 28-29 3.2 薄膜介质中的声表面波 29-30 3.3 解耦的声表面波的求解方法 30-32 第四章 高速波导声光调制器的设计 32-45 4.1 新型波导声光调制器的整体设计 32-33 4.2 波导声光调制器的声波导设计参数 33-39 4.2.1 不同切型压电晶体中的坐标变换 33-38 4.2.2 理论分析中使用的参数 38-39 4.3 声波导的分析与设计 39-45 第五章 光波导分析 45-63 5.1 常用的光波导模式的分析方法 45-47 5.2 OptiBPM 软件简介 47-48 5.3 利用OptiBPM 软件设计和分析光波导 48-63 5.3.1 光波导结构和折射率设计 48-50 5.3.2 光波导中光场随传输的变化 50-51 5.3.3 光波导中光场及有效折射率分布 51-55 5.3.4 影响光波导性能的因素分析 55-61 5.3.5 光波导的优化设计 61-63 第六章 波导声光调制器的制作、实验结果与分析 63-71 6.1 波导声光器件的制作方法 63-66 6.1.1 光波导制作技术概述 63-65 6.1.2 退火质子交换法制作波导 65-66 6.1.3 Ti 扩散LiNbO_3 光波导的制作方法 66 6.2 光波导的制作过程 66-67 6.2.1 光刻 66 6.2.2 镀Ti 膜 66 6.2.3 剥离 66 6.2.4 Ti 扩散工艺 66-67 6.3 叉指换能器与声波导的制作方法 67-68 6.4 波导声光调制器的测试与分析 68-71 6.4.1 光波导的测试装置 68-69 6.4.2 测试结果与分析 69-70 6.4.3 改进的方法 70-71 参考文献 71-77 发表论文和科研情况说明 77-78 致谢 78
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中图分类: > 工业技术 > 无线电电子学、电信技术 > 基本电子电路 > 调制技术与调制器、解调技术与解调器 > 调制技术与调制器
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