学位论文 > 优秀研究生学位论文题录展示

半圆形容器等离子体源离子注入鞘层动力学研究

作　者: 李晓红
导　师: 刘成森
学　校: 辽宁师范大学
专　业: 原子与分子物理
关键词: 等离子体源离子注入流体动力学模型等离子体鞘层
分类号: O539
类　型: 硕士论文
年　份: 2008年
下　载: 23次
引　用: 0次
阅　读: 论文下载

内容摘要

等离子体源离子注入(PSII)已经广泛应用于材料表面改性和半导体加工领域。在这一技术的实际应用过程中,等离子体鞘层的时空演化过程对等离子体与材料表面相互作用有着非常重要的意义。本文利用两维流体动力学模型,包括描述离子的连续性方程、动量方程、电子玻耳兹曼分布,以及描述鞘层中电势分布的泊松方程,研究了等离子体鞘层中电势分布、离子密度分布、样品表面离子束流密度分布和离子注入剂量分布的时空演化规律。针对半圆形容器,考察了在无附加电极和在球心放置零电位球形附加电极两种情况下的负高压脉冲等离子体鞘层的演化过程,研究了两种情况下各自的电势分布、容器表面离子束流密度和离子注入剂量分布以及这些分布的均匀性状况。结果表明,由于电场分布的弯曲导致离子运动的聚焦效应,使得离子束流和离子注入剂量在半圆形容器端点附近的表面上分布非常不均匀;而使用短的电压脉冲,附加电极的加入可以改善内表面离子注入的均匀性。这对于实际等离子体源离子注入应用具有重要的指导意义。另外我们还分别考察了附加电极半径和容器壁厚对容器表面离子注入剂量的影响。结果显示,随着附加电极半径的增大,容器内表面的离子注入剂量逐渐减小;随着容器壁厚的逐渐增大,容器端点表面的离子注入剂量越来越小,内外表面离子注入剂量也略有减小。

全文目录

摘要  4-5
Abstract  5-8
第一章引言  8-19
  1.1 等离子体理论概述  8-11
  1.2 离子注入技术  11-17
    1.2.1 一般束线离子注入技术  12-14
    1.2.2 等离子体源离子注入技术简介  14-16
    1.2.3 国内外等离子体源离子注入技术的发展与应用  16-17
  1.3 本文完成工作简介  17-19
第二章等离子体源离子注入过程中鞘层演化  19-29
  2.1 PSII 鞘层时空演化的物理描述  19
  2.2 等离子体源离子注入过程中鞘层演化的研究方法  19-25
    2.2.1 解析法  20-21
    2.2.2 流体动力学方法  21-22
    2.2.3 Monte Carlo 方法  22-23
    2.2.4 PIC 方法  23-25
  2.3 PSII 过程中的流体动力学求解方法  25-29
第三章半圆形容器等离子体源离子注入鞘层的数值模拟  29-40
  3.1 等离子体鞘层的计算机模拟  29-31
  3.2 球心处无附加电极时的数值模拟结果  31-35
  3.3 球心处有附加电极时的数值模拟结果  35-38
  3.4 小结  38-40
第四章半圆形容器参量变化时的数值模拟  40-48
  4.1 附加电极半径对半圆形容器端点附近注入剂量的影响  40-43
  4.2 半圆形容器壁厚对其端点附近离子注入剂量的影响  43-48
第五章结论  48-50
参考文献  50-57
致谢  57

半圆形容器等离子体源离子注入鞘层动力学研究

内容摘要

全文目录

相似论文