学位论文 > 优秀研究生学位论文题录展示

基于DSP的波长调谐干涉抗振技术研究

作　者: 郭凤
导　师: 陈磊
学　校: 南京理工大学
专　业: 微电子与固体电子学
关键词: 干涉测量抗振波长调谐振动探测相位分析 DSP
分类号: TH744.3
类　型: 硕士论文
年　份: 2012年
下　载: 10次
引　用: 0次
阅　读: 论文下载

内容摘要

以Φ600mm波长调谐相移斐索干涉仪为研究对象,研究移相干涉测量中的波长调谐抗振技术。在主动抗振技术中,以PZT反馈的机电式抗振技术应用比较广泛,但它难以满足大口径光学元件的精密移动要求,且频率响应低,对振动无法实现很好的补偿。本文研究基于波长调谐的抗振技术,采用可调谐半导体激光器,通过改变波长来补偿振动引起的相位变化,能够提供很高的响应频率,更好的达到抗振的目的。在Φ600mm波长调谐相移斐索干涉仪中,采用单点法探测振动信号,对幅频积100λHz以下的振动信号进行了探测,并研究了振动信号的分析方法,设计了DSP控制补偿系统,全面分析了补偿系统的设计原理,编制了相关控制程序,对可调谐半导体激光器的两种波长调制模式分别施加模拟振动信号与反馈补偿信号,使得振动中的干涉条纹稳定下来,达到了抗振效果。

全文目录

摘要  3-4
Abstract  4-7
1 绪论  7-15
  1.1 课题的研究背景  7-8
  1.2 干涉抗振技术的发展现状  8-13
    1.2.1 动态干涉测试技术  8-10
    1.2.2 自适应主动抗振技术  10-13
  1.3 本论文的主要内容  13-15
2 波长调谐干涉抗振系统  15-24
  2.1 Φ600MM波长调谐相移斐索干涉仪  15-16
  2.2 波长移相基本原理  16-17
  2.3 波长调谐抗振技术原理  17-19
  2.4 可调谐半导体激光器  19-23
    2.4.1 可调谐半导体激光器调谐机理  19-20
    2.4.2 工作模式与调谐方案  20-22
    2.4.3 可调谐激光器参数要求  22-23
  2.5 本章小结  23-24
3 振动信号的探测与分析  24-41
  3.1 振动信号的探测与采集  24-30
    3.1.1 振动信号的探测  24-29
    3.1.2 振动信号的采集  29-30
  3.2 振动信号的分析  30-40
    3.2.1 单点法  30-34
    3.2.2 傅里叶变换法  34-40
  3.3 本章小结  40-41
4 DSP控制补偿系统的开发与设计  41-55
  4.1 DSP系统设计  41-46
    4.1.1 DSP系统的设计过程  41-42
    4.1.2 HDSP-SUPER2812开发板的介绍  42-43
    4.1.3 DSP控制补偿系统的设计  43-46
  4.2 DSP程序的开发  46-50
    4.2.1 开发过程  46-47
    4.2.2 主程序设计  47-48
    4.2.3 功能模块设计  48-49
    4.2.4 DSP程序的调试与固化  49-50
  4.3 实验结果分析  50-54
  4.4 本章小结  54-55
5 全文总结  55-56
  5.1 本文所做工作和创新点  55
  5.2 有待提高的方面  55-56
致谢  56-57
参考文献  57-60
附录A  60-66
附录B  66

基于DSP的波长调谐干涉抗振技术研究

内容摘要

全文目录

相似论文