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多模移动终端射频前端中RF MEMS开关的研究
作 者: 秦维
导 师: 郭更生
学 校: 北京邮电大学
专 业: 通信与信息系统
关键词: 多模移动终端 射频微机械电子系统 射频开关 驱动电压 切换时间
分类号: TM564
类 型: 硕士论文
年 份: 2007年
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内容摘要
通信技术的发展形成了今天多种模式移动通信系统共存的局面,在此情况下,研究出可以同时支持多种无线接入方式的移动终端是非常有意义的。多模移动终端系统共享硬件时需要RF开关,而基于MEMS技术的RF开关在性能上的优势使其成为了未来实现高性能多模终端的首选。本文对应用于多模移动终端射频前端的RF MEMS开关进行了深入的探讨,介绍了基于MEMS技术的射频开关的背景知识,包括MEMS技术的相关知识,RF MEMS开关的原理、功能、性能参数。根据研究发现RF MEMS开关高功耗、响应时间长的缺点是阻碍其最终在移动终端系统中大规模商用的主要瓶颈,本文的研究将围绕这两个主要性能参数的优化展开。本文根据多模移动终端射频前端的特点确定了开关的基本架构,对RF MEMS开关进行了较为系统的理论计算分析,着重分析了影响驱动电压、隔离度、插入损耗和稳定性的主要因素,然后对RF MEMS开关进行了初步的优化设计。本文使用MEMS的CAD软件CoventorWare对设计的RF MEMS开关进行3D建模仿真,并且根据仿真结果不断优化设计,最终建立了低功耗、快速响应的RF MEMS开关模型。在完成了单个RF MEMS模型之后,完成了应用于移动终端的SP5T开关网络的整体设计。
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全文目录
摘要 4-5 ABSTRACT 5-8 第一章 绪论 8-12 1.1 课题背景 8-9 1.2 多模移动终端射频前端中的RF MEMS开关 9-11 1.2.1 多模移动终端的系统结构 9-10 1.2.2 多模移动终端的射频前端 10-11 1.3 本文结构 11-12 第二章 RF MEMS技术 12-20 2.1 引言 12 2.2 RF MEMS的理论基础 12-13 2.3 RF MEMS技术的特点 13-14 2.4 RF MEMS的加工工艺 14-16 2.5 RF MEMS的常用材料 16-18 2.6 RF MEMS系统的驱动 18-19 2.7 RF MEMS技术的应用方向 19-20 第三章 RF MEMS开关 20-23 3.1 引言 20 3.2 RF MEMS开关的特点 20 3.3 RF MEMS开关的分类 20-22 3.3.1 串联RF MEMS开关 20-21 3.3.2 并联RF MEMS开关 21-22 3.4 RF MEMS开关的主要性能参数 22-23 第四章 RF MEMS开关总体设计和理论计算分析 23-34 4.1 RF MEMS开关的总体设计 23-24 4.1.1 确定开关类型 23 4.1.2 确定驱动方式 23 4.1.3 初步设计开关结构 23-24 4.2 RF MEMS开关的理论计算分析 24-32 4.2.1 悬臂梁的等效弹性系数 24-26 4.2.2 驱动电压分析 26-28 4.2.3 RF MEMS开关的电磁特性分析 28-32 4.2.4 不同材料的残余应力问题 32 4.3 理论分析小结及设计 32-34 第五章 RF MEMS开关与SP5T开关阵列仿真分析 34-57 5.1 MEMS辅助设计软件CoventorWare 34-35 5.2 使用CoventorWare的Designer生成实体模型 35-46 5.2.1 材料属性库 MPD 35-37 5.2.2 ProcessEditor——加工流程设计 37-42 5.2.3 LayoutEditor——二维版图设计 42-43 5.2.4 生成RF MEMS开关实体模型 43-46 5.3 Coventor Ware仿真分析 46-55 5.3.1 MemElectro——静电仿真 47-49 5.3.2 MemMech——纯机械仿真 49-50 5.3.3 CoSolveEM——驱动电压仿真 50-53 5.3.4 开关切换时间仿真 53-54 5.3.5 频率响应仿真 54-55 5.4 RF MEMS开关设计小结 55-56 5.5 设计应用于多模移动终端射频前端的SP5T开关阵列 56-57 第六章 论文总结及课题展望 57-58 6.1 论文总结 57 6.2 课题展望 57-58 参考文献 58-60 致谢 60
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中图分类: > 工业技术 > 电工技术 > 电器 > 开关电器、断路器 > 各种开关
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