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用于激光加工中调Q Nd:YAG激光器研究
作 者: 何忠蛟
导 师: 马养武
学 校: 浙江大学
专 业: 光学工程
关键词: Nd:YAG激光器 激光微处理 声光调Q 激光内雕 电光调Q
分类号: TN248.1
类 型: 硕士论文
年 份: 2003年
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内容摘要
由于激光束具有良好的方向性和高能量密度,可将光束聚焦到微米量级;由于激光束的脉冲宽度可达数十纳秒到数十皮秒,能够快速加热,对材料的热影响效应减小;因此,激光的以上优点为微加工提供了有利的条件,同时也促使激光加工技术迅速发展。 1995年以来,国外学者发表了一些文章,即在波导的硅基底上镀有一层a-Si(amorphous silicon)薄膜,用激光微处理这层a-Si薄膜的厚度,能够精确地控制波导的双折射和精确地改善波导的色散等,提高了波导器件的稳定性和降低了波导器件的传播损耗等;并举例说明了将激光微处理技术应用到具体的波导器件的实例。 我们的研究工作是希望能够再现国外学者的实验过程和实验结果。要进行波导器件的激光微处理实验,首先要建造一台具有切割功能和具有高质量输出光束的激光器。这台激光器要求:①输出功率稳定度为±2%;②起动及工作时不能有过大的光脉冲影响其它精密仪器的工作;③具有连续、长脉冲和短脉冲三种输出形式。 由于造成其输出功率不稳定的主要原因是Nd:YAG棒的热透镜效应。因此,为了补偿Nd:YAG棒的热透镜效应,我们重点进行了热稳谐振腔的设计,利用的依据就是G1×G2=1/2。采取的措施是调整两个谐振腔反射镜的曲率半径。建造好声光调Q Nd:YAG激光器后,对激光器的输出特性进行了测试,得出:重复频率最高可达3000Hz,峰值功率为50千瓦,光脉冲能量的稳定度为1%,脉冲宽度为80-100ns,光斑直径在60—90μm之间。这样的激光束特性比较适合微处理波导器件上的a-Si薄膜。但是,由于目前没有制作出镀有a-Si薄膜的波导器件,以致没有获得完全的实验结果。 激光内雕技术是近年来新兴的一种将激光应用于玻璃、水晶的加工技术。要实现激光内雕,激光束必须具有数个纳秒量级窄脉宽、数十兆瓦高峰值功率,同时也要具有发散度恒定不变、大深径比的环状聚焦光束。 根据这种特殊要求的应用场合,我们研究和设计了一种既不同工作物质贮能腔,也不同于谐振腔贮能腔,而是具有特殊构型腔的电光调Q Nd:YAG激光器。特殊构型腔的关键部件在于“特殊输出耦合器”,它置于两块平面全反射镜构成 的激光谐振腔中。特殊构型腔从原理上说,山于 45’镀 1刀6urn全反膜层玻璃片 的作用,不管调Q晶体的加电压和撤电压参量如何,光子在腔内(小孔端日到 全反镜距离)往返一周必定逸出腔外,从而确保输出光脉冲的宽度A仆为确切的 、。、。。ZnL,、…、,,,、。t。、,^。,。、。、。, 理论值:凸厂=主上二。式中厂为小孔端口到全反镜之间距。 其中,特殊输出耦合器中镀1刀6全反膜层玻璃片的小孔孔径是关键的参 量。在玻璃片上制作精确尺寸的45’通孔,并非易事。有关小孔孔径参量的问题, 我们做了大量的机理分析和实验证实的研究工作。在 p 0.6-p 2.sm-rn之间,做 了许多实验研究,而找到了一个较理想的尺寸参量。 我们设计的特殊构型腔电光调Q*d:YA G激光器的性能是:重复频率 11 00Hi,峰值功率数十兆瓦,脉冲宽度为 5-15us,环状输出光束的环带宽度约 为0.smm。该环状光束经扩束装置和会聚装置后,聚焦到玻璃内部的光斑直径小 于 10urn,获得较理想的实际结果。 同时,进行了激光内雕系统的总体设计与局部设计,包括扩束装置、分束装 置、聚焦装置的设计。也包括计算机和 PCL839卡的连接,PCL839卡与驱动器、 激光电源的连接,驱动器与三维运动平台的连接等,以及如何控制三维平台移动 的最小精度等工作。
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全文目录
前言 10-14 第一章 调Q激光器概述 14-21 第一节 调Q原理 14-17 第二节 调Q激光器的速率方程 17-21 第二章 波导器件激光微处理综述 21-30 第一节 波导器件的激光微处理分析 21-24 第二节 波导器件的激光微处理应用实例 24-30 第三章 用于波导器件激光微处理中声光调Q Nd:YAG激光器的设计 30-45 第一节 声光调Q原理 30-32 第二节 稳定输出功率的措施 32-39 第三节 声光调Q Nd:YAG激光器装置 39-41 第四节 声光调Q Nd:YAG激光器输出特性的测试 41-42 第五节 波导器件的激光微处理的实验步骤和结果 42-45 第四章 激光内雕基本思想及技术可行性综述 45-52 第一节 激光内雕的基本思想 45-49 第二节 激光内雕的技术可行性 49-52 第五章 用于激光内雕系统中具有特殊构型腔电光调Q Nd:YAG激光器的设计 52-64 第一节 工作物质贮能电光晶体调Q Nd:YAG激光器原理 53-54 第二节 谐振腔贮能电光晶体调Q Nd:YAG激光器原理 54-55 第三节 特殊构型腔的原理及特点 55-60 第四节 特殊构型Nd:YAG激光腔的设计和输出参数 60-64 第六章 激光内雕系统总体与局部的设计 64-77 第一节 激光内雕系统的总体设计 64-66 第二节 光学装置的设计 66-77 第七章 激光内雕机的工作过程和实验结果 77-79 第八章 激光内雕未来发展方向 79-81 总结 81-82 致谢 82-83 附件 83
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中图分类: > 工业技术 > 无线电电子学、电信技术 > 光电子技术、激光技术 > 激光技术、微波激射技术 > 激光器 > 固体激光器
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